Prohlížeč má zakázaný Javascript. Prosím, povolte ho pro plnou funkčnost systému a obnovte stránku.
Prohlížeč má zakázané cookies. Prosím, povolte je pro plnou funkčnost systému a obnovte stránku.
Zavřít režim celé obrazovky
|
Název:
|
Occupational exposure to airborne nanomaterials: an assessment of worker exposure to aerosolized metal oxide nanoparticles in a semiconductor fab and subfab |
|
Další názvová informace:
|
|
|
Překlad:
|
|
|
Autor:
|
Sara A. Brenner …[et al.]. |
|
Klíčové slovo:
|
polovodiče
inhalace
expozice pracovníků
nanočástice
křemík
leštění |
|
Anotace:
|
Omezování expozice vzdušným nanomateriálům: posouzení expozice pracovníků aerosolovým nanočásticím oxidů kovů v polovodičové továrně
Tato studie posouzení profesionální expozice charakterizuje potenciální inhalační expozice pracovníků umělým nanomateriálům spojených s chemicko-mechanickou planarizací křemíkových plátků ve výzkumném a vývojovém zařízení pro polovodiče. Metodika pro nasávání vzduchu byla navržen tak, aby zachytila vzdušné nanočástice oxidu kovu pro charakterizaci. |
|
Jazyk dokumentu:
|
eng |
| |
|
|
Publikováno na URL:
|
|
|
Připojené soubory:
|
 occupational exposure to airborne nanomaterials |
|
|
|
{{'asyncop.tasklist' | i18n}}
