| ???persistent.caption.title??? |
???persistent.caption.value??? |
|
|
| Clavius tčíslo: |
|
| Překlad: |
|
| Rozšířená anotace: |
|
| Jazyk dokumentu: |
eng
|
| Ročník: |
13
|
| Číslo: |
9
|
| Rozsah (stránky): |
s. D138-D147
|
| Název zdroje: |
Journal of Occupational and Environmental Hygiene
|
| Rok vydání: |
2016
|
| Publikovat na bozp-info: |
|
| Forma publikování: |
|
| Perex: |
|
| Datum publikování: |
|
| Publikováno na URL: |
|
| Připojené soubory: |
occupational exposure to airborne nanomaterials
|
| Název: |
Occupational exposure to airborne nanomaterials: an assessment of worker exposure to aerosolized metal oxide nanoparticles in a semiconductor fab and subfab
|
| Další názvová informace: |
|
| Klíčové slovo: |
polovodiče
inhalace
expozice pracovníků
nanočástice
křemík
leštění
|
| Autor: |
Sara A. Brenner …[et al.].
|
| Anotace: |
Omezování expozice vzdušným nanomateriálům: posouzení expozice pracovníků aerosolovým nanočásticím oxidů kovů v polovodičové továrně
Tato studie posouzení profesionální expozice charakterizuje potenciální inhalační expozice pracovníků umělým nanomateriálům spojených s chemicko-mechanickou planarizací křemíkových plátků ve výzkumném a vývojovém zařízení pro polovodiče. Metodika pro nasávání vzduchu byla navržen tak, aby zachytila vzdušné nanočástice oxidu kovu pro charakterizaci.
|
| Bezpečnostní úroveň: |
|
| Druh: |
nezadáno
|
| Odkaz na dokument (URL): |
|
| Původní znění: |
|